华为在股权投资和技术研发方面正积极进行布局，以强化其在半导体产业链的地位。通过一系列动作，华为正逐步构建国产光刻机全产业链能力，以应对国际技术封锁并推动半导体制造自主化进程。
一、核心企业股权投资方面，华为通过其投资平台哈勃科技，入股了专注于光刻机光源系统的研发企业科益虹源。科益虹源是中科院微电子所控股的公司，已掌握193nm ArF准分子激光器技术，是国内首家实现高能准分子激光器自主设计的企业。除此之外，华为还参股了至期光子，该公司聚焦超精密光学元件研发，产品覆盖光刻机光学系统、高端手机镜头等领域。
二、在技术研发突破方面，华为联合新凯来公司开发LDP（激光诱导放电等离子体）技术，计划于2026年量产国产EUV光刻机，以突破荷兰ASML的技术垄断。为加速技术攻关，华为组建顶尖研发团队，并与国内外高校、科研机构合作建立开放式创新平台。
三、在产业链协同效应方面，华为通过投资整合光刻机的关键环节，如光源和光学系统，与上海微电子等国内企业形成互补。上海微电子已经实现了90nm光刻机的量产，预计2025年将突破28nm制程技术。
四、在资本投入规模方面，华为对半导体产业及光刻机技术的研发资本投入持续加码。2023年，华为的研发投入达到了惊人的1647亿元，其中23%用于半导体产业链，包括光刻机技术研发。科益虹源的注册资本也从1.2亿元增至2.02亿元，增幅达68%，这充分显示了华为对核心技术的重视和持续投入。
华为正在通过资本和技术的双重驱动，积极整合产业链资源，加强自主研发能力，以实现半导体产业的核心技术自主化。这一战略不仅有助于提升华为自身的竞争力，也有助于推动整个半导体产业的发展。
